“超越摩尔”为中国智造贡献力量 上海微技术工业研究院新兴技术领域“弯道超车”

如今的8英寸“超越摩尔”研发中试线上灯火通明，5000平方米工作厂区活跃着许多“白企鹅”。左图：技术人员正在为产品做“体检”。袁婧摄

（报记者　沈湫莎）戴上发帽、口罩、手套，拉上连体服的拉链，想走进8英寸“超越摩尔”研发中试线，这些行头一个都不能少。本月底，这条生产线上就要交付第一批产品温度传感器，这些天来，上海微技术工业研究院MEMS技术工程总监徐元俊每天都要穿戴得如同一只“白企鹅”，在生产线上奋战。

“党的十九大即将胜利召开。我国首条、全球领先的8英寸‘超越摩尔’研发中试线开通，正是五年来我国科技界砥砺奋进的又一新成就。”徐元俊一边说，一边为刚刚跑完一道工序的8英寸晶圆做起了“体检”，应力、原子力、电阻……高精密生产不能容忍一丝纰漏，一片晶圆上有9000多个温度传感器，因此对硅材料的纯净度、厚度的均匀性都有极高要求。

当集成电路产业正在以摩尔定律追求不断缩小工艺尺寸时，上海微技术工业研究院选择了另外一条路，在传感器等其他新兴技术领域实现“弯道超车”。作为国内第一批参与国产可量产消费类传感器陀螺仪制作的人，2014年，徐元俊接到工研院的邀请，来做一个传感器对外服务平台。

对于这些年科研环境的变化，徐元俊感触颇深：“党的十八大以来，习近平总书记高度重视科技创新，这让我们基层科技工作者更加坚定了科研工作的信念，我也明显感觉到企业创新的步伐在不断加快。”

到2020年，上海将培育形成约30家研发与转化功能型平台，工研院正是第一个启动的平台，这条8英寸“超越摩尔”生产线正是平台的“镇台之宝”。

短短三年，徐元俊亲眼看着这里的变化———从一片空地到跑着8英寸硅片的生产线；人才从四面八方聚集而来。每天走进生产车间，他都有一种与时间赛跑的感觉———任何产业都有黄金周期，在这么好的环境下，一定要抓住这波机遇，不负祖国和人民的重托。

如今的8英寸“超越摩尔”研发中试线上灯火通明，5000平方米工作厂区活跃着许多“白企鹅”。每位员工的心中都明白，这条中试线承载着改变中国传感器依赖进口，让研究成果走出实验室、走向市场的期望。

本月底，8英寸“超越摩尔”研发中试线上生产的第一批产品温度传感器即将完成。届时，这条月产量3000片晶圆的中试线将为许多实验室传感器铺设一条走向市场的路。

想到即将胜利召开的党的十九大，想到顺利实现两个一百年奋斗目标的未来，徐元俊充满期待、意气风发，“有了国家的快速发展，个人价值才能更好地实现，我们要努力把工研院打造成国际上叫得响的传感器公共服务平台，为中国智造贡献自己的力量。”