上海集成电路产业发展迎来新里程碑，华力12英寸集成电路项目搬入首台设备

上海集成电路产业发展迎来新的里程碑。总投资近400亿元的上海华力12英寸先进生产线昨天实现首台工艺设备搬入，这标志着该项目正式从基建阶段转向工艺设备安装调试阶段。今年内，该生产线将启动试生产，实现一万片的月产能，从而显著提升上海乃至我国在高端芯片领域的制造能力。

华力12英寸先进生产线由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设营运，是上海市最大的集成电路产业投资项目，被列入国家《“十三五”集成电路产业重大生产力布局规划》。该项目位于浦东新区康桥工业园南区，总投资387亿元，2016年12月30日开工，目标是在今年年底实现试生产，并于2022年底最终将月产能提升到4万片。项目建成后，将逐渐覆盖28纳米至14纳米技术节点工艺，主要生产逻辑芯片，包括通讯芯片、射频芯片、图像传感芯片、物联网芯片等，重点服务国内芯片设计企业，并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。

集成电路产业链包括设计、制造、封装测试、装备、材料等环节，其中，集成电路的制造位于产业链的核心，其特点是资本异常密集、技术难度极大、国际化程度极高、市场竞争异常激烈等。昨天搬入厂房的是一台由荷兰阿斯麦(ASML)公司制造的顶级光刻机，这也是目前国内集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。别看它的体积差不多只相当于一台普通机床，但价值堪比大型客机。

未来五个月内，华力12英寸先进生产线项目将在完成土建收尾工作的同时，陆续迎来数百台各种类型的集成电路制造装备。等所有设备完成安装、调试、串线，整条生产线就能按照芯片设计公司提供的设计图，在一片片直径12英寸(250毫米)的硅晶圆片上，以极为精细的“手法”，密密麻麻地“刻出”线宽仅28纳米(1毫米等于1百万纳米)的电子器件和电路。最终，每片硅晶圆将被切割成为成千上万片包含着上亿个晶体管的芯片。

作为信息产业的“心脏”，我国集成电路产业在过去几年中迎来新的大发展时期。国家相继出台一系列扶持政策，组建了总规模超过1000亿元的产业基金，希望能逐渐缩小我国集成电路产业与世界之间的显著差距。正是在这样的背景下，华力12英寸才顺利完成了前期筹备，仅用16个月，就在一片农田上初步建成厂房并开始搬入工艺设备。

上海是我国集成电路产业起步最早、产业链最完善、综合技术实力最强的地区，一直在我国集成电路产业版图上占据极为重要位置。业内人士表示，华力12英寸项目的建设和投产，有助于进一步将上海打造成为我国集成电路产业高地，对于打响“上海制造”品牌、建设先进制造业产业集群有着极为重要的意义。目前，上海正在运营的12英寸集成电路生产线有两条，合计月产能6万片；而包括华力项目在内，在建12英寸生产线共有3条。去年，上海集成电路产业销售收入近1200亿元。

作者：张懿

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